
国家知识产权局信息显示金橘策略,杭州镓仁半导体有限公司申请一项名为“一种蒸气腐蚀设备和腐蚀方法”的专利,公开号CN121344785A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请涉及腐蚀设备领域,公开了一种蒸气腐蚀设备和腐蚀方法,设备包括:具有炉腔和开口的腐蚀炉体,所述炉腔的底部用于盛放腐蚀剂,所述开口位于所述腐蚀炉体的顶部;设于所述炉腔中的载具,用于竖直承载待腐蚀晶圆;设于所述腐蚀炉体的底部外侧的第一加热器,用于加热所述腐蚀剂产生腐蚀蒸气;设于所述开口处的气体控制组件,用于将所述炉腔内顶部的腐蚀蒸气压入所述炉腔的底部。该设备可以解决晶圆腐蚀时出现的裂片、晶体结构损坏以及腐蚀速率难以控制的问题,同时可以减少腐蚀剂的用量,降低腐蚀成本。
天眼查资料显示,杭州镓仁半导体有限公司,成立于2022年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本176.9409万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州镓仁半导体有限公司参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息52条金橘策略,此外企业还拥有行政许可3个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
天创优配提示:文章来自网络,不代表本站观点。